オーブンを待つ必要はありません。なぜ金コーティングされた赤外線ランプが効果的かというと、以下の通りです。 正直言って、強制対流によってウェーハを加熱するのは時間がかかります。実際には、空気を加熱し、その空気が最終的にウェーハに十分なエネルギーを伝えてくれることを期待しているわけです。これは遅く、面...

清掃エリアが混乱状態に陥ったときでも、状況を安定させる方法 もし化学的な清掃処理で赤外線ヒーターを使用しているのであれば、その苦労はよくご存知でしょう。火災の危険がある有害ガスや、あらゆるものを腐食させる化学物質と対峙しなければなりません。通常のクォーツ管では、到底耐えられません。 だからこそ、私...