悪いランプが原因で、生産された製品全体がダメになるのを防ぎましょう。 大量生産の現場では、1つのランプが故障するだけでも大変ですが、それはまさに悪夢です。 石英製のケースが壊れると、熱源を失うだけでなく、破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。一度壊れると、生産した製品全てが廃棄処分になってし...

なぜ、無鉛半導体の硬化処理に赤外線を使用するのか？ 最近では、ウェーハ処理用の装置を設計するのはかなり面倒です。新しい無鉛化や環境配慮型の規制が多くあり、乾燥や硬化の過程で大きなプレッシャーがかかっています。多くの人々は依然として昔ながらの対流式オーブンを使っていますが、それは実際には部屋全体を温...

シャードの発生を防ぐ：なぜ反射器の設計が重要なのか 高負荷でウェーハを加熱する際、ランプが壊れるというのは、単なる面倒な問題や予期せぬ停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲン残留物が直接シリコン上に降り注ぎます。一度でもそうなると、一括でウェーハが台...

では、ウェーハのIR硬化について話しましょう。 私たちは、昔ながらの対流式オーブンを使うのではなく、赤外線を利用した硬化方法に切り替えました。なぜでしょうか？それは、現代の製造現場において「環境に優しい」「鉛を含まない」という基準が単なる提案ではなく、必須の条件だからです。 大きな違いは、熱がどの...

##はじめに MEMSセンサーワイヤーの乾燥工程がフル稼働しているときに何が起こるかを考えてみましょう。温度が極限まで上昇し、システムは限界に迫ります。 最悪の事態としては、赤外線ランプが破損してしまうことです。単に故障するだけでなく、激しく破裂してしまい、その破片が良好な状態のワイヤーに飛び散っ...

製造現場においては、乾燥室の温度が1℃以下変動しても、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハは清浄室から出てくるときにも微量の水分を含んでおり、次の工程であるソフトベイクやハードベイク、エッジビーズの除去などでは、温度の変動に耐える余裕がありません。私たちが開発した産業用ウェーハ乾燥...

ファブの現場では、ウェーハ全体で0.5℃の温度変動があるだけで、正確なフォトレジストの焼成処理が失敗に終わり、廃棄物が増えてしまいます。私たちは、このような状況を防ぐために、工程内の温度を安定させる加熱プラットフォームを開発しました。 重要なポイント ウェーハ全体で±0.1℃の一定した温度を維持し...

300mmラインでは、計画外の停止や粒子の発生が大きな問題となります。長年にわたり対流式オーブンが乾燥や焼成の役割を果たしてきましたが、その速度は遅く、温度のばらつきも生じやすく、また空気の流れによって粒子が舞い上がり、製品の品質が低下することもあります。プロセスの時間や温度が秒単位で管理される中...

ファブフロアではご存知の通りです。フォトレジストのベーク温度が0.5℃ずれると、クリティカル寸法がずれてしまい、多くのウェハを廃棄することになります。当社は、このフォトボルタイクシリコンウェハヒーターを開発し、シフトごとにリソグラフィウィンドウ内の熱挙動を安定させています。 内部の重要ポイント 短...