ウェーハを清潔に保つために：IRヒーターの真実 水素センサーを製造する際、その赤外線ランプが重要な役割を果たします。しかし、大量生産を行っている場合、私たち全員が恐れている最悪の事態が起こり得ます。 それは、単にランプが故障するだけではありません。実際には、石英管が破裂してしまうのです。そうなると...

ウェーハ処理における無駄な電力の消費を止めましょう。 正直言って、ファブにおいて電力を無駄にすることは、単にお金を無駄にしているだけです。 一般的なIRランプは効率が悪く、エネルギーがあらゆる方向に放出されます。つまり、消費される電力の半分は無駄になり、製品ではなく空気や機械自体が加熱されてしまい...

IRランプが壊れる心配はもうしなくていいです。 バイオセンサーの製造において、ランプが爆発するというのは単なる「技術的なトラブル」ではありません。それは本当に大変な問題です。一度爆発すれば、石英の破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。結果として、生産効率は低下し、ラインも使えなくなります。ま...

CNT製造における赤外線加熱の活用 カーボンナノチューブを扱う場合、どれだけ困難かご存知でしょう。触媒を適切に活性化させ、炭素を正しく析出させるためには、非常に精密な温度制御が必要です。 長年にわたり、私たちは抵抗加熱式のオーブンを使用してきました。しかし正直なところ、これらは効率が悪いのです。基...

##はじめに 生産ラインが順調に動いているとして、その国際的なOEM製の熱処理装置のための信頼性の高いスペア部品が必要ですよね。わかります。仕様が全てですから。 私たちが開発した赤外線ハロゲンランプは、大規模な半導体製造装置にぴったり合うように設計されています。つまり、同じ熱量、同じ熱反応、そして...