装置の壁面を加熱しなくてもよくなります 半導体製造装置を扱ったことがある人なら、制御不能な熱がもたらす問題を知っているはずです。それは大きなリスクです。一般的な加熱素子は、エネルギーをあちこちに放出してしまいます。 問題は、これらの加熱素子を狭い筐体の中に押し込むと、内壁がその余分な熱を吸収してし...

クォーツ製のシールドを使って、ファブ内のランプの性能を最大限に引き出そう もしあなたが半導体ファブを運営しているのであれば、IR加熱ランプは、ウェハの加熱や硬化処理において不可欠な存在です。しかし、カーボンニュートラルを実現したいのであれば、単にランプを交換するだけでは不十分です。全体の熱管理を考...

IRランプが製造ラインを破壊するのを防ごう 正直言って、高負荷の製造ラインでIRランプが破裂するのは本当に厄介な問題です。単にヒーターが停止するだけではありません。クォーツ管が破損すると、まるでガラス製の手榴弾のようになり、破片や化学物質が生産ライン全体に飛び散ります。ウェハーを扱う人にとっては、...

なぜ半製品の乾燥にカーボンファイバー式赤外線ランプを使うのか？ 正直に言えば、対流式オーブンはもはや古い技術と言えます。半導体の乾燥や硬化処理においては、もはや対流式オーブンは使われなくなっています。私たちはカーボンファイバー式赤外線ランプに切り替えているのです。それは、業界全体が無鉛で排出ガスの...

ウェーハの硬化処理におけるチューブの破裂という悪夢を防ぐために 半導体製造工場では、たった1つのランプが故障するだけで、大量のウェーハが廃棄されてしまいます。これは大変な被害です。重負荷の下で赤外線チューブが破損すると、単にラインが停止するだけでなく、石英の破片やハロゲンガスが製品上に降り注ぎます...

ウェーハ処理における無駄な電力の消費を止めましょう。 正直言って、ファブにおいて電力を無駄にすることは、単にお金を無駄にしているだけです。 一般的なIRランプは効率が悪く、エネルギーがあらゆる方向に放出されます。つまり、消費される電力の半分は無駄になり、製品ではなく空気や機械自体が加熱されてしまい...

##はじめに 生産ラインが順調に動いているとして、その国際的なOEM製の熱処理装置のための信頼性の高いスペア部品が必要ですよね。わかります。仕様が全てですから。 私たちが開発した赤外線ハロゲンランプは、大規模な半導体製造装置にぴったり合うように設計されています。つまり、同じ熱量、同じ熱反応、そして...

長い間、製造現場で働けば、些細なことにも注意を払うようになります。ウェーハの乾燥処理にかかるエネルギーは、スプレッドシートに示されている数値よりも多くなることがあります。また、熱変動によってフォトレジストの品質が損なわれることもあります。私たちはこれらの問題を頻繁に目にします。ソフトベイクやハード...