IRランプが製造ラインを破壊するのを防ごう
正直言って、高負荷の製造ラインでIRランプが破裂するのは本当に厄介な問題です。単にヒーターが停止するだけではありません。クォーツ管が破損すると、まるでガラス製の手榴弾のようになり、破片や化学物質が生産ライン全体に飛び散ります。ウェハーを扱う人にとっては、これは即座の大惨事です。二次的な汚染が発生し、一括してシリコンが廃棄処分されてしまいます。
なぜランプが破裂するのか
高ワット数のランプは、常に大きな熱ストレスにさらされています。ほとんどの場合、故障はシール部と金属部の接続部分や、過度な熱の集中によって起こります。クォーツが割れると、ハロゲンガスが漏れ出し、フィラメントが瞬時に燃え尽きてしまいます。そうなると、ライン全体が乱れてしまいます。
クリーンルームでは、ランプが破裂した後に「片付ける」ことはできません。最初から粒子がシリコンに当たらないようにしなければなりません。
私たちの対処法
私たちは運に任せるのではなく、ヒーター部に保護ケースと強化された容器を設置しました。これは物理的な盾のようなものです。内部のランプが破裂しても、ガラスの破片はケースの中に留まります。外側の容器が他の破片を受け止めるので、ライン内に破片が飛び散ることはありません。また、高純度の融合クォーツを使用することで、急激な温度変化にも耐えられます。さらに、エンドキャップのシールの精度を高めることで、ガス漏れを防ぎます。
現実的な妥協点
ただし、この保護ケースを付けると、赤外線の透過率が少し低下します。つまり、裸のランプの場合と比べて、100％の熱を得ることはできません。目標温度に到達するために、昇温時間を調整したり、電力を上げる必要があるかもしれません。しかし、正直、大規模な清掃作業によって製造ラインが停止するのを避けるためには、それほど大きな代償ではありません。
設置時のいくつかのヒント
必ず、安定した電圧制御機能を持つシステムに接続してください。電圧の急変はランプの寿命を縮め、破裂の原因となります。また、冷却ファンも確認してください。与えられた熱負荷に適したものであるか確認しましょう。そうでなければ、ケースが過熱し、元の状態に戻ってしまいます。