クリーンルーム内での熱損失を防ぎましょう。
ウェハー処理を行う際には、1ワットたりとも無駄にしてはいけません。もしシリコン基板を加熱しているときに、そのエネルギーがあちこちに散逸してしまうと、それは単なる無駄な電力の消費に過ぎません。必要なのは「熱」だけではなく、そのエネルギーを正確に目的の場所に届けることです。
問題は、一般的な反射器では赤外線エネルギーが多く漏れ出してしまうことです。これを解決するために、私たちは金を使用します。
なぜ金なのか？
理由は簡単です。金はアルミニウムや研磨済みの鋼鉄よりも、赤外線をはるかに効果的に反射するからです。高純度の金層を反射器に塗ることで、光子が散乱するのを防ぎ、直接ウェハーに向けて戻されます。その結果、より均一な温度分布が得られ、処理速度も向上します。
バランスの取り方
必要な表面温度を得つつ、作業台全体をオーブンのようにすることなく済ませるためには、高い出力密度が必要です。しかし、ここに問題があります。
大量のエネルギーを狭い空間に集中させると、クォーツ製のケースが損傷してしまいます。これは非常に微妙なバランスを要求されます。私たちは、フィラメントが早く壊れないように、ランプの長さや電圧を何度も調整しています。
注意すべき点
これらのランプは簡単に交換できるように設計されていますが、金コーティング部分はとても繊細です。技術者が手で反射器に触れると、皮膚から出る油分が表面に付着してしまいます。これにより「ホットスポット」ができ、システム全体の効率が低下してしまいます。必ずノンウォッシュグローブを使用してください。
最後に、金コーティングされたランプは熱を集中させる能力が高いため、冷却システムもそれに応じて機能しなければなりません。ファンやヒートシンクが不足していると、ケースがその熱を吸収してしまいます。そうなると、温度センサーの数値が不安定になり、プロセスが混乱してしまいます。
使用する前に、空気の流れを確認しておきましょう。そうすれば、後で大変なトラブルを避けることができます。