近赤外線 NIR エミッターバルブ

リソグラフィ工程ではドリフトを許容できない。フォトレジストのベイク中に0.3℃の変動が発生すると、300 mmウェハの1バッチ全てを廃棄することになる。プロセスカードが指定する箇所に正確に熱が到達しなければならず、それをシフトごと、ロットごとに繰り返す必要がある。 内部で重要なポイント 近赤外線...