湿気が赤外線ヒーターを壊すのを防ぎましょう。 もし、赤外線ヒーターのフィラメントが早期に破損したり燃え尽きたりする経験があるなら、その苦労はよくわかるでしょう。通常、問題の原因はヒーター自体ではなく、環境にあります。 実際、水分やほこりは石英管にとって最悪の敵です。わずかな水滴や油分が高温の管に当...

ヒーターが爆発しないようにするための対策 私たちは、極度の高温環境で使用される半導体ヒーターを製造しています。これは非常に過酷な環境です。こうした環境下では、わずかな絶縁不良でも大問題に繋がります。一度だけ漏れが発生すれば、制御ボード全体が破壊されたり、ウェーハが数秒でダメになってしまう可能性があ...

リソグラフィーの工程において、ソフトベイクやハードベイクというのは単なる加熱処理ではありません。それらは、ウエハの寸法を制御するための重要な工程なのです。ウエハの温度が2℃変動するだけで、重要な寸法が変わってしまいます。また、ホットゾーンで発生した微粒子が、多くの製品を損傷させる可能性があります。...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストのソフトベイク時に2℃もの温度変動があるというのは、単なる許容範囲を超えたものです。それは、製品の品質が低下する原因となります。ウェーハが溜まり、スケジュールが乱れ、熱制御が不安定になると、粒子数も増加してしまいます。私たちは、プロセスの要件を満たすため...