ヒーターが爆発しないようにするための対策
私たちは、極度の高温環境で使用される半導体ヒーターを製造しています。これは非常に過酷な環境です。こうした環境下では、わずかな絶縁不良でも大問題に繋がります。一度だけ漏れが発生すれば、制御ボード全体が破壊されたり、ウェーハが数秒でダメになってしまう可能性があります。
だからこそ、私たちは何も推測せず、製造される各ヒーターを出荷する前に、100％の耐電圧試験および絶縁抵抗試験を行います。
最も危険なのは、絶縁破壊です
実際には、こういうことが起こります。これらのヒーターは高い電力密度で動作するため、高温になると絶縁材料が膨張します。もし、その中に微細な隙間や不純物があれば、電圧がそこを通過してしまいます。そうなると、その弱点からアークが発生し、故障が起きてしまいます。
実験室でこのような事態を防ぐために、私たちはヒーターにさらに高い電圧をかけてみます。そうすることで、漏れ電流がないかを確認します。もし電流が急上昇したら、そのヒーターは使えないものです。例外はありません。
なぜ全てのヒーターをテストするのか
一部の工場では、一括で数個だけをテストして終わりにしますが、私たちはそうしません。セラミック製のケースにわずかな溶接不良やひび割れがあれば、それだけで深刻な短絡が起こり得ます。全てのヒーターに高電圧試験を施すことで、絶縁性能が十分かどうかを確認できます。そうすれば、漏れ電流が発生せず、機器が正常に動作します。これは安心感につながります。
バランスの取り方
「絶縁層が厚ければ、安全性も高くなる」と思うかもしれませんね。確かにそうですが、バランスを考える必要があります。絶縁層を厚くしすぎると、熱伝導が遅くなってしまいます。その結果、ヒーターが所定の温度に達するのに時間がかかってしまいます。電気的な安全性と、プロセスが迅速に反応する必要性の間のバランスを取る必要があります。
注文時には、テスト報告書も一緒に送られてきます。そうすれば、実際に装置に接続したときに、絶縁強度が適切であるかがわかります。