揮発性化学物質の近くでIR加熱を使用する際の安全性の確保
半導体のウェットクリーニングを行う際、IR加熱ランプは、可燃性や爆発性のある蒸気が充満したチャンバーの真ん中に設置されることがよくあります。これは非常に危険な状況です。ほんのわずかな火花や絶縁不良があれば、大惨事につながりかねません。
そのため、私たちは単に出力ワット数だけを重視するのではありません。むしろ、封止処理にこだわります。
秘密は密封性にあります。
私たちは二重の密封方式を用いて、電気端子が化学物質から完全に隔離されるようにしています。最も問題となるのは、電源ケーブルが石英製の外殻に接続される部分です。これを解決するために、高温に耐えられ、化学物質と反応しないガラスと金属の密封材や封止剤を使用しています。
簡単に言えば、もしその腐食性のある蒸気が回路内に入ってしまうと、短絡が起きてしまいます。私たちの密封処理によって、ハロゲンガスはランプの内部に留まり、有害な化学物質は外部に出ないようになります。
化学的ストレスに対処する
もし材料がその環境に耐えられなければ、急速に劣化してしまいます。
私たちは高純度の石英を使用し、特別なコーティングを施すことで、ランプが曇ったり、洗浄剤によって侵食されたりするのを防ぎます。問題は、石英表面に凹みができると、熱が均等に放出されなくなることです。そうなるとウェーハに熱点ができてしまい、それは避けたいことです。ですから、全体の基板にわたって熱が均一に分布するようなコーティングを選びます。
トレードオフ（何も無料ではない）
もちろん、このような安全対策を施すと、ランプのサイズが少し大きくなってしまいます。封止処理によって組立品の長さが増えるため、ヒーターブラケットの間隔を調整する必要があります。また、これらの保護コーティングによって、裸の管と比べて少しIR光の出力が低下します。そのため、目標温度に到達するためには、出力を上げたり、ウェーハをもっと長時間加熱したりする必要があります。
最後に、配線には必ず防爆機能のあるケーブルを使用してください。これによって、安全性が確保されます。