なぜクリーンルーム用のトロリーキャビネット用ヒーターとして赤外線を使用するのか？ 半導体製造工場において、「清潔」は単なる目標ではなく、あらゆることの基盤です。わずかな汚れでも、製品の品質を台無しにしてしまいます。 多くの人は、加熱というと空気を送り込むことだと思っていますが、クリーンルームでは強制送風は大きな問題です。それによってほこりや微粒子が舞い上がり、結果として大量のフィルターシステムを設置する必要が出てきます。 だからこそ、私たちは赤外線を利用するのです。空気を使わずに、電磁波を利用するのです。エネルギーが直接対象物に届きます。風もほこりもなく、手間もかかりません。
鉛フリーはんだ付けを正しく行うために
鉛フリーはんだ付けは繊細な作業です。温度管理が少しでも狂うと、敏感なウェーハが損傷する危険があります。 赤外線の利点は、基板が吸収したい波長に合わせて調整できる点です。部屋全体や金属製のトロリーキャビネットを加熱する無駄なエネルギーは不要です。直接、ワークピースを加熱するだけです。 中間媒体を省くことで、数秒で所定の温度に到達します。非常に速いのです。
スペースを有効活用する
製造工場の床面積は貴重です。 赤外線ランプには巨大なダクトや騒音の大きい送風機が不要なので、狭いスペースにも設置できます。また、石英製のケースや特殊なコーティングを使用することで、加熱時に何も発散されません。これにより、ISO規格を維持しつつ、部屋の半分も占有しません。
問題点とその解決策
もちろん、全てが理想的というわけではありません。高強度の赤外線は強力ですが、逆に問題も起こり得ます。 部品の厚さが異なる場合、薄い部分が過度に熱くなり、中央部分は依然として冷たい状態になります。センサーやPIDコントローラーの反応速度が遅いと、基板が変形してしまいます。良くありません。 これを防ぐために、マルチゾーン制御を使用することをお勧めします。これにより、トロリーキャビネット全体の温度を均一に保ち、半導体の信頼性を高めることができます。