リソグラフィーの工程において、フォトレジストのソフトベイク時に2℃もの温度変動があるというのは、単なる許容範囲を超えたものです。それは、製品の品質が低下する原因となります。ウェーハが溜まり、スケジュールが乱れ、熱制御が不安定になると、粒子数も増加してしまいます。私たちは、プロセスの要件を満たすために、230Vで動作するルビーアインフラレッドヒーターを開発しました。これにより、シフトごとに温度を安定させることができます。
技術的に重要な点 ルビーアインフラレッドヒーターは、迅速な反応速度と正確なスペクトル制御を備えています。230Vで動作するため、配線や降圧トランスを変更する必要はありません。アクティブゾーン全体でのウェーハ表面の温度均一性は±0.1℃以内であり、サイクル間の再現性も±0.5℃以内です。石英製のケースとルビーのドーピング処理により、ガス放出が抑制され、粒子の発生も少なくなります。その結果、クリーンルームのクラス1～100でも問題なく使用できます。実際、5,000時間以上連続して使用しても、出力の低下は5％未満です。また、フィラメントの形状も、熱サイクルに対して安定した抵抗値を維持するように設計されています。
なぜ生産現場で有効なのか フォトレジストの処理において、ソフトベイクは溶剤の蒸発を促進し、フィルムの応力を調整します。一方、ハードベイクはエッチング前にパターンを固定します。ルビーアインフラレッドヒーターは、これらの工程を安定させ、所定の温度に迅速に到達し、予測可能な冷却を実現します。その結果、スキン効果による過剰な加熱や端部分の過度な露光が減少します。そのおかげで、CD精度が向上し、再作業が減少し、ワーク全体の線幅のばらつきも抑えられます。また、熱が必要な時だけ供給されるため、消費電力も削減されます。これにより、ウェーハあたりのコストが下がり、計画外の停止も減少します。
実際の使用状況 設置は簡単ですが、正しい位置に取り付けることが重要です。指定された焦点距離から±1mm以内にヒーターを取り付ける必要があります。そうでないと、温度均一性が悪化し、局所的な過熱が発生します。毎回反射板の状態を確認し、定期的なメンテナンスの一環としてソケットを清掃する必要があります。定格電圧以下で使用すると寿命は延びますが、起動時間が長くなり、ベイクプロファイルも変わってしまいます。そのため、各工程に合った校正済みの電圧で使用することが重要です。