なぜ半製品の乾燥にカーボンファイバー式赤外線ランプを使うのか？ 正直に言えば、対流式オーブンはもはや古い技術と言えます。半導体の乾燥や硬化処理においては、もはや対流式オーブンは使われなくなっています。私たちはカーボンファイバー式赤外線ランプに切り替えているのです。それは、業界全体が無鉛で排出ガスのないシステムを求めているからです。 古いガス式システムとは異なり、このランプは電力で動作します。燃焼がないため、作業場内に有害な副産物が発生することもありません。純粋なエネルギーが利用されるのです。
実際の動作原理
石英管の中にカーボンファイバーのフィラメントが入っていると想像してみてください。スイッチを入れると、カーボンファイバーが電流に抵抗し、その電力を直接赤外線エネルギーに変換します。 これはほぼ瞬時に起こります。巨大なチャンバーが温まるのを待つ必要はありません。すぐに使えます。さらに、その熱はウェハーに使われているコーティングを効果的に加熱するように調整されています。部品の周囲の空気を温めるのにエネルギーを無駄にすることなく、直接基板を加熱できます。これにより、処理の速度が上がり、設備も部屋の半分を占領する必要がありません。
環境に優しい点
無鉛のはんだや環境に優しい樹脂を使用すると、適切な温度管理が重要になります。温度が高すぎると、基板が歪んだり、シリコンが破損したりします。 しかし、このランプなら、正確に温度を調整できます。また、加熱要素が油を燃やしたり、VOCを放出したりしないため、クリーンルームの空気は常に適切な状態を保ちます。これは閉ループ式のシステムです。燃料も排気ガスも、二酸化炭素の排出もありません。とてもクリーンです。
楽ではない点
もちろん、全てが理想的というわけではありません。何かしらの妥協点があります。 このランプは小さな空間に多くのエネルギーを詰め込んでいるため、ケースの冷却には注意が必要です。そうしないと、装置自体が壊れてしまいます。 また、コンベヤーの速度も注意が必要です。速度が遅すぎると、部品がラインを出る前に焼けてしまいます。そして、PIDコントローラーがカーボンファイバーの反応速度に追いつけるかどうかも重要です。もしコントローラーが遅ければ、ランプの速度が速すぎてしまいます。