なぜIR加熱において金製の反射器を使用するのか スマートな製造現場では、単に出力を上げるだけでは不十分です。重要なのは、その熱が実際にどこに行くかということです。もし無駄にエネルギーを使ってしまったら、それはコストの無駄になります。だからこそ、私たちは赤外線ランプに金製の反射器を組み合わせているの...

熱を最大限に活用するために：無鉛硬化処理の実用的な視点 半導体業界では、無鉛で省エネルギーな処理方法が強く求められています。私たちの多くは、IR硬化処理を採用しています。なぜなら、巨大なオーブンを使う代わりに、直接基板自体を加熱すればよいからです。 しかし、問題はこうです。ランプだけでは不十分です...

シャードの発生を防ぐ：なぜ反射器の設計が重要なのか 高負荷でウェーハを加熱する際、ランプが壊れるというのは、単なる面倒な問題や予期せぬ停止にとどまりません。それはまさに悪夢です。 石英管が破裂すると、ガラスの破片やハロゲン残留物が直接シリコン上に降り注ぎます。一度でもそうなると、一括でウェーハが台...