##はじめに MEMSセンサーワイヤーの乾燥工程がフル稼働しているときに何が起こるかを考えてみましょう。温度が極限まで上昇し、システムは限界に迫ります。 最悪の事態としては、赤外線ランプが破損してしまうことです。単に故障するだけでなく、激しく破裂してしまい、その破片が良好な状態のワイヤーに飛び散っ...

長い間、製造現場で働けば、些細なことにも注意を払うようになります。ウェーハの乾燥処理にかかるエネルギーは、スプレッドシートに示されている数値よりも多くなることがあります。また、熱変動によってフォトレジストの品質が損なわれることもあります。私たちはこれらの問題を頻繁に目にします。ソフトベイクやハード...

製造現場においては、乾燥室の温度が1℃以下変動しても、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハは清浄室から出てくるときにも微量の水分を含んでおり、次の工程であるソフトベイクやハードベイク、エッジビーズの除去などでは、温度の変動に耐える余裕がありません。私たちが開発した産業用ウェーハ乾燥...

300mmラインでは、計画外の停止や粒子の発生が大きな問題となります。長年にわたり対流式オーブンが乾燥や焼成の役割を果たしてきましたが、その速度は遅く、温度のばらつきも生じやすく、また空気の流れによって粒子が舞い上がり、製品の品質が低下することもあります。プロセスの時間や温度が秒単位で管理される中...