클린룸에서의 열 낭비를 막으세요.
웨이퍼 처리를 할 때는 에너지가 아주 중요합니다. 만약 실리콘 기판을 가열할 때 그 에너지가 사방으로 흩어진다면, 그건 단순한 에너지 낭비일 뿐입니다. 우리에게 필요한 것은 단순히 ‘열’만이 아니라, 그 에너지가 정확하게 목표 지점에 도달하는 것입니다.
문제는 무엇일까요? 대부분의 일반적인 반사체들은 열적외선 에너지를 너무 많이 외부로 방출시킵니다. 이 문제를 해결하기 위해 우리는 금을 사용합니다.
왜 금일까요?
간단합니다. 금은 알루미늄이나 연마된 강철보다 적외선을 훨씬 잘 반사합니다. 반사체에 고순도 금층을 입힘으로써, 광자들이 흩어지는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과, 열이 훨씬 더 집중됩니다. 따라서 원하는 온도에 도달하는 데 걸리는 시간도 줄어듭니다.
균형을 맞추는 것
전체 작업대가 오븐처럼 변하지 않으면서도 원하는 표면 온도를 얻으려면 높은 에너지 밀도가 필요합니다. 하지만 여기에도 문제가 있습니다. 너무 많은 에너지를 작은 공간에 집중시키면, 석영 커버가 손상될 수 있습니다. 이는 마치 줄타기와 같습니다. 필라멘트가 조기에 파손되지 않도록 램프의 길이와 전압을 조절하는 데 많은 시간이 필요합니다.
주의해야 할 점들
이러한 램프들은 간단히 교체할 수 있도록 설계되어 있습니다. 하지만 금 코팅된 표면은 매우 섬세합니다. 기술자가 맨손으로 반사체를 만지면, 피부의 기름이 표면에 남게 됩니다. 이로 인해 ‘핫스폿’이 생기고, 전체 시스템의 효율성이 떨어집니다. 항상 먼지가 없는 장갑을 착용해야 합니다.
마지막으로, 금 코팅된 램프는 열을 효과적으로 집중시키기 때문에, 냉각 시스템도 그에 맞춰 작동해야 합니다. 팬이나 히트싱크가 약하다면, 커버가 그 모든 열을 흡수하게 됩니다. 그러면 온도 센서의 값이 변하게 되고, 결국 공정이 제대로 진행되지 않습니다.
램프를 연결하기 전에 공기 흐름을 반드시 확인하세요. 그래야 나중에 큰 문제가 생기는 것을 막을 수 있습니다.