한 개의 램프가 고장 나도 전체 제품을 망쳐버리는 상황을 막아야 합니다. 대량 생산 환경에서는 단 하나의 램프가 고장 나는 것도 큰 문제입니다. 그건 마치 악몽과 같습니다. 석영관이 파손되면 열원을 잃는 것은 물론, 유리 조각들과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다...

왜 무연 반도체 제조에 적외선 경화 방식을 사용하는가? 요즘 웨이퍼 처리 장비를 설계하는 것은 꽤 어려운 일입니다. 새로운 무연 및 친환경 규정들 때문에 건조와 경화 과정에서 많은 압력이 가해집니다. 대부분의 사람들은 여전히 구식의 대류식 오븐을 사용하지만, 이러한...

파편을 막으세요: 반사판의 설계가 왜 중요한지 고부하 상태에서 웨이퍼를 가열할 때, 램프가 고장 나는 것은 단순한 문제가 아닙니다. 그건 진짜 악몽과도 같습니다. 쿼츠 튜브가 파손되면 유리 조각들과 할로겐 침전물들이 웨이퍼 위로 쏟아져 내립니다. 단 한 번의 고장만으...

와이어의 IR 경화 과정에 대해 이야기해 보겠습니다. 우리는 더 이상 구식의 대류식 오븐을 사용하지 않고, 적외선을 이용한 경화 방식으로 전환했습니다. 왜일까요? 현대의 반도체 공장에서는 ‘친환경적이고 납이 없는’ 기준들이 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야...

서론 MEMS 센서 웨이퍼를 건조시키는 과정에서 문제가 발생하면 어떻게 될까요? 열이 극도로 높아지고, 시스템은 그 한계에 도달하게 됩니다. 최악의 상황을 상상해보세요. 적외선 램프가 폭발하는 것입니다. 단순히 고장나는 것이 아니라, 폭발하여 파편들이 아주 깨끗한 웨...

제조 현장에서는 건조실의 온도가 1°C만 변동해도 전체 제품을 폐기해야 합니다. 웨이퍼는 깨끗한 상태에서 나오지만 여전히 약간의 수분이 남아 있습니다. 그 다음 단계인 소프트 베이크나 하드 베이크, 엣지 비드 제거 과정에서는 온도 변동을 허용할 수 없습니다. 저희는...

300mm 공정에서는 예기치 않은 가동 중단과 미세한 입자들이 문제가 됩니다. 오랫동안 대류식 오븐이 건조 및 굽기 작업을 수행해왔지만, 그 속도가 느리고 온도 변동이 발생하며, 공기 흐름으로 인해 미세한 입자들이 생겨나어 제품의 품질에 영향을 줍니다. 반면, 적외선...

Fab 라인에서는 상황이 익숙합니다. 포토레지스트 베이크 온도가 0.5°C만 벗어나도 주요 치수가 달라지고, 결국 많은 제품을 폐기해야 할 수 있습니다. 우리는 리소그래피 공정 구간 내에서 열 특성을 일정하게 유지하기 위해 이 광전지 실리콘 웨이퍼 히터를 개발했습니다...