Op de productielijn is het voldoende om een verschil van 0,5°C te hebben tussen verschillende delen van de wafer, zodat dit leidt tot afwijkingen in de dikte van de laag die wordt gebruikt in het fotolithografische proces. We hebben deze verhittingsplaat ontworpen om de thermische omstandigheden binnen de gewenste grenzen te houden, shift na shift.
Wat belangrijk is onder de motorkap We behouden een constante temperatuur van ±0,1°C over het hele oppervlak van de wafer. De herhalbaarheid van de ingestelde temperatuur blijft ook binnen deze marge. De plaat is geschikt voor gebruik in een schone werkomgeving (klasse 1–100) en produceert geen vervuilende deeltjes.
Korte- en middellange golflengten infraroodlicht, gecombineerd met verhittingszones die geïsoleerd zijn met kwarts, zorgen voor een snelle, contactloze warmtestroom. Hierdoor kan de temperatuur gemakkelijk worden geregeld, zonder dat het oppervlak van de wafer beschadigd raakt. De instellingen van het proces kunnen gemakkelijk worden vastgehouden, waardoor het systeem snel stabiel wordt. Dit verkort de opwarmtijd en bespaart energie.
Waarom dit nuttig is in de lithografie In de lithografie betekent deze precisie minder herwerkingswerk, een lagere defectdichtheid en betere controle over de dikte van de laag die wordt gebruikt. Een nauwkeurigere temperatuurregeling verbetert de prestaties van de fotorester en verminderde de variabiliteit in de dikte van de laag. Er is geen chemische aanpassing nodig.
De energieverbruik wordt verminderd omdat de plaat snel de gewenste temperatuur bereikt en deze vasthoudt, zonder dat er sprake is van overschrijdingen. De plaat is ontworpen om 24/7 te werken, met minimale onderbrekingen. Het resultaat is een hogere productiecapaciteit, minder afval en lagere kosten per wafer.
Wat je van tevoren moet plannen De plaat heeft een eigen stroomvoorziening en een zuivere, droge luchtsuppletie nodig om de thermische stabiliteit en de vereisten van de schone werkomgeving na te komen. De installatierichtlijnen zijn streng – plan dus ruimte in die overeenkomt met de vereisten van het systeem.
Reken op een korte kalibratietijd, zodat de instellingen perfect passen bij je fotorester. Eenmaal gekalibreerd, blijft het proces stabiel.