No processo de litografia, os passos de aquecimento “suave” e “intenso” não são apenas etapas térmicas; eles representam limites dimensionais importantes. Uma variação de 2°C na temperatura do wafer pode afetar suas dimensões críticas. Além disso, uma única partícula gerada na zona quente pode causar grandes danos ao wafer. Por isso, desenvolvemos um módulo de aquecimento por infravermelho com zonas controladas, que mantém a temperatura onde é realmente necessária, sem causar contaminação.
O módulo utiliza emissores de infravermelho de onda curta, dispostos em zonas controladas independentemente, de acordo com a geometria do wafer. A uniformidade térmica na superfície do wafer fica entre ±0,1°C, e a repetibilidade da temperatura entre lotes é de ±0,2°C. A zona quente permanece limpa: são utilizados materiais como quartzo e refletores para minimizar a emissão de gases. O design do módulo garante que não haja geração de partículas durante o funcionamento normal. Em salas limpas de classe 1–100, o módulo mantém perfis de aquecimento estáveis, sem aumento na quantidade de partículas. Isso melhora a qualidade do fotoresist e reduz as variações de tamanho entre lotes.
Você obtém maior controle sobre o processo. A repetibilidade do aquecimento “suave” melhora a qualidade das bordas do wafer e aumenta a taxa de sucesso na aplicação do fotoresist. A consistência do aquecimento “intenso” melhora a aderência e a seletividade do processo de gravação, reduzindo assim o número de reprocessos necessários. A abordagem por zonas também permite reduzir o consumo de energia, evitando o aquecimento desnecessário de toda a câmara. A arquitetura modular permite a substituição rápida dos módulos durante a manutenção preventiva, evitando tempos de parada indesejados.
A instalação consiste em alinhar o módulo com o caminho de transporte do wafer e garantir que haja um fluxo de ar adequado para isolar a zona quente. O módulo se encaixa nos padrões dos equipamentos semicondutores convencionais, mas é necessário verificar os conectores elétricos e os sistemas de controle durante a instalação, para que funcione corretamente com os sistemas de gestão de produção e manutenção.