На производственном участке достаточно всего лишь изменения температуры на 0,5°C на поверхности кристалла, чтобы это привело к смещению ширины линий на изделии и его браковке. Мы создали эту платформу для поддержания стабильных условий температуры в процессе производства, независимо от количества циклов обработки.
Что имеет значение Мы обеспечиваем стабильность температуры на уровне ±0,1°C по всей поверхности кристалла; точность регулировки также остается в пределах этого диапазона. Платформа разработана для использования в чистых помещениях класса 1–100; при ее работы не образуется никаких частиц.
Использование инфракрасного излучения коротких и средних длин волн, а также зон нагрева с кварцевой изоляцией, позволяет быстро и без контакта регулировать температуру. Вы можете контролировать параметры теплового процесса, не повреждая при этом поверхность кристалла. Функции мягкого и жесткого нагрева обеспечивают стабильность процесса при каждой последующей обработке; система быстро стабилизируется, что сокращает время разогрева и энергопотребление.
Почему это важно в литографии В литографии такая точность значительно снижает количество бракованных изделий, уменьшает плотность дефектов и обеспечивает стабильность размеров изделия. Точный контроль температуры улучшает работу фотополимера и снижает изменчивость его свойств — нет необходимости в корректировках химических составов.
Энергопотребление снижается за счет быстрого достижения заданной температуры и ее поддержания без ее превышения. Платформа разработана для круглосуточной работы с минимальным количеством сбоев. В результате повышается производительность, снижается количество бракованных изделий, а стоимость производства одного кристалла снижается.
Что нужно учитывать заранее Для правильной работы платформы необходим отдельный источник питания и поставка чистого, сухого воздуха для поддержания термостабильности и соответствия требованиям чистых помещений. Требования к установке очень строгие — необходимо спланировать место установки так, чтобы оно соответствовало стандартам интерфейса.
Ожидайте короткий период настройки, необходимый для настройки параметров нагрева в соответствии с характеристиками используемого фотополимера. После настройки процесс будет работать стабильно.