Как обеспечить безопасность при использовании инфракрасных нагревателей рядом с легковоспламеняющимися или взрывоопасными химикатами
При проведении процедур мокрой чистки полупроводниковых материалов инфракрасные нагреватели часто размещаются прямо внутри камер, заполненных легковоспламеняющимися или взрывоопасными парами. Это довольно рискованная ситуация: один лишь искра или небрежность при установке изоляции может привести к катастрофе.
Поэтому мы не ограничиваемся только учетом мощности нагревателя. Мы также уделяем особое внимание его защите от химикатов.
Секрет заключается в герметичности
Мы используем двухслойную систему уплотнения, чтобы электрические контакты полностью изолировались от химикатов. Особые трудности возникают в месте, где кабели подключаются к кварцевой оболочке нагревателя. Чтобы решить эту проблему, мы используем герметичные соединения из стекла и металла, а также специальные компаунды, которые выдерживают высокие температуры и не реагируют с химикатами.
Все очень просто: если коррозионные пары попадут в электронные цепи, произойдет замыкание. Наши уплотнения предотвращают проникновение галогенового газа внутрь лампы и защищают ее от вредных химикатов.
Борьба с воздействием химикатов
Если материалы не могут выдерживать такие условия, они быстро разрушаются. Мы используем кварц высокой чистоты с специальными покрытиями, чтобы лампы не покрывались конденсатом и не повреждались под действием чистящих средств. Проблема в том, что по мере появления вмятин на поверхности кварца тепло распределяется неравномерно. Это приводит к образованию горячих точек на пластине, что является последним, чего можно желать. Мы выбираем такие покрытия, которые обеспечивают равномерное распределение тепла по всей поверхности пластины.
Компромиссы (ведь ничего не бывает бесплатно)
Эти меры безопасности делают лампы немного больше по размерам. Уплотнение увеличивает длину устройства, поэтому может потребоваться изменить расстояние между креплениями нагревателя. Кроме того, защитные покрытия немного снижают эффективность излучения инфракрасного света по сравнению с обычной лампой. Возможно, потребуется увеличить мощность нагревателя или увеличить время нагрева пластины для достижения нужной температуры.
И еще кое-что: обязательно используйте взрывобезопасные кабели для питания лампы. Только так можно полностью обеспечить безопасность.