На лінії виробництва з довжиною елементів 300 мм основними проблемами є неплановані перерви у роботі та наявність частинок повітря. Протягом багатьох років для сушіння та випалювання використовувалися конвекційні печі, але їхні процеси є повільними, виникають відхилення, а потік повітря може піднімати частинки, що призводить до зниження якості продукції. Коли час виконання процесу вимірюється у секундах та градусах, інфрачервоне опромінювання забезпечує інший температурний профіль – швидкий, прямий та точний.
З технічної точки зору важливим є шлях проходження тепла. Інфрачервоне опромінювання діє безпосередньо на поверхню пластини, використовуючи короткохвильові чи середньохвильові емітери, які забезпечують швидке та контрольоване нагрівання. Це дозволяє досягти однорідності температури на поверхні пластини до ±0,1°C, а також забезпечує можливість повторного використання пластин для подальшої обробки. Час відновлення після відкриття дверей становить кілька секунд. Досягається рівень чистоти 1–100 класу, оскільки не існує фанателів для циркуляції повітря, а оптичні шляхи є герметичними, тож кількість частинок значно зменшується. Також знижується споживання енергії, оскільки енергія йде на нагрів самої пластини, а не на стінки камери та повітря.
У лабораторіях з літографії важливими є час виконання процесу та контроль дефектів. Інфрачервоні модулі можна встановлювати в спеціальні пристрої для сушіння, що дозволяє скоротити час виконання процедур без пошкодження фоточутливого шару. Це забезпечує кращий контроль критичних розмірів, меншу кількість дефектів та стабільні параметри процесу.
Якщо ви виробляєте великі обсяги продукції, надійність пристроїв залишається високою: пристрої можуть працювати понад 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%, що дозволяє забезпечити цілодобову роботу. Це є ефективною альтернативою традиційним конвекційним печам, яка відповідає міжнародним стандартам та вже перевірена на практиці.
Варто пам’ятати, що інфрачервоне опромінювання є ідеальним для тонких плівок та фоточутливих шарів, коли потрібне швидке та однорідне нагрівання поверхні. Однак необхідно контролювати емісію та відбиття світла на різних поверхнях. Для цього потрібно підлаштувати спектр емітера до структури плівки та налаштувати датчики температури відносно самої пластини, а не відносно станції обробки. Встановлення пристрою є простим, але потрібно передбачити час на налаштування параметрів для забезпечення стабільної роботи пристрою.