На цеху з літографії відхилення температури на рівні 2°C під час процедури „м’якого випалювання“ фоторезисту не є допустимим – це призводить до зниження якості продукції. Вафери накопичуються, графіки виробництва порушуються, а кількість частинок у повітрі починає зростати, як тільки контроль температури стає нестабільним. Ми створили інфрачервону лампу Ruby (230В), яка дозволяє підтримувати температуру в межах необхідного діапазону протягом усього процесу.
Що є важливим з технічної точки зору
Лампа Ruby випромінює короткочастотне інфрачервоне світло з швидкою реакцією та точним контролем спектру. Вона призначена для роботи при напрузі 230В, тож може бути використана без необхідності зміни електропроводки чи використання трансформаторів для зниження напруги. У активній зоні температурна однорідність залишається на рівні ±0,1°C, а точність виконання процедури – на рівні ±0,5°C. Кварцова оболонка та конструкція лампи запобігають викиду газів та зменшують кількість частинок у повітрі – це дозволяє підтримувати умови класу чистоти 1–100. Лампи працюють без перерв протягом 5 000 годин із зниженням продуктивності менше ніж на 5%. Геометрія нитки лампи забезпечує стабільну опірність під час теплових циклів.
Чому лампа підходить для використання у виробництві
Під час обробки фоторезисту процедура „м’якого випалювання“ сприяє випаровуванню розчинників та створенню напруги в плівці; процедура „жорсткого випалювання“ фіксує форму візерунка перед етапом етchingу. Лампа Ruby стабілізує обидві процедури, швидко досягаючи потрібних значень температури та забезпечуючи стабільне охолодження. Це зменшує кількість проблем, пов’язаних із нерівномірним нагріванням та надмірним освітленням країв візерунка. Результатом є кращий контроль параметрів виробництва, менша кількість необхідностей переробки продукції та стабільна якість продукції протягом усього процесу. Споживання енергії зменшується, оскільки тепло постачається за потребою, а не через велику площу нагрівальної поверхні. Це призводить до зниження витрат на одну ваферу та меншої кількості непланових зупинок обладнання.
Примітки щодо використання
Встановлення лампи є простим, але для досягнення оптимальних результатів необхідно дотримуватися точних параметрів розташування. Лампу слід встановлювати на відстані ±1 мм від визначеної фокусної відстані; інакше температурна однорідність буде порушуватися, а з’являться локальні точки надмірного нагрівання. Кожного разу необхідно перевіряти стан відбивача та чистити контактні елементи лампи як частину регулярного технічного обслуговування. Робота лампи при напрузі, нижчій за заявлену, може подовжити її термін служби, але також може спричинити зміни в параметрах процесу випалювання – тому необхідно дотримуватися встановленої напруги для кожного рецепта виробництва.