Забезпечення безпеки під час використання ІЧ-нагрівачів поруч із леткими хімікатами
Під час процедури мокрої обробки напівпровідників ІЧ-нагрівачі часто розташовуються прямо посеред камер, наповнених легкозаймистими чи вибухонебезпечними парами. Це дуже небезпечна ситуація – одна лише іскра чи нещасний випадок з ізоляцією може призвести до катастрофи.
Тож ми не орієнтуємося лише на потужність нагрівача. Ми приділяємо особливу увагу його упаковці.
Секрет полягає у герметичності.
Ми використовуємо двошарову систему герметизації, щоб електричні контакти залишалися повністю подалі від хімікатів. Найбільшою проблемою є місце, де кабелі підключаються до кварцової оболонки. Щоб усунути цю проблему, ми використовуємо герметичні з’єднання зі скла та металу, а також спеціальні компаунди, які можуть витримувати високі температури без реакції з хімікатами.
Це досить просто: якщо корозійні пари потрапляють у електричну схему, виникає коротке замикання. Наші герметичні елементи забезпечують те, щоб галогенний газ залишався всередині лампи, а шкідливі хімікати – ззовні.
Боротьба з впливом хімікатів
Якщо матеріали не можуть витримувати таких умов, вони швидко деградують.
Ми використовуємо кварц високої чистоти з особливими покриттями, щоб лампи не запотівали та не пошкоджувалися під дією очищувачів. Проблема полягає у тому, що коли поверхня кварцу починає покриватися вм’ятинами, тепло розподіляється нерівномірно. Це призводить до появи „гарячих точок“ на пластині, що є останнім, чого можна бажати. Ми вибираємо такі покриття, які забезпечують рівномірний розподіл тепла по всій поверхні пластини.
Компроміси (адже нічого не є безкоштовним)
Ці заходи безпеки роблять лампи трохи більшими за розміром. Упаковка збільшує довжину конструкції, тож може знадобитися коригувати встановлення нагрівачів. Крім того, ці захисні покриття трохи зменшують кількість інфрачервоного випромінювання, порівняно з лампами без покриття. Ймовірно, доведеться збільшити потужність нагрівача чи збільшити час нагріву пластини для досягнення потрібної температури.
Ще одна важлива річ – обов’язково використовуйте вибухозахисні кабелі для підключення ламп. Це допоможе забезпечити повну безпеку.