فیبرکی فلور پر، ڈرائنگ چیمبر میں 1 ڈگری سیلسیس سے بھی کم تغیرات، پورے بیچ کے ویفروں کو بیکار کرنے کے لئے کافی ہیں۔ ویفرز صاف حالت میں باہر آتے ہیں، لیکن ان میں تھوڑی سی نمی باقی رہ جاتی ہے۔ اس کے بعد جو اقدامات کئے جاتے ہیں، جیسے نرم بیکنگ، سخت بیکنگ، یا کناروں سے غیرضروری مواد کو ہٹانا، ان میں درجہ حرارت میں کسی قسم کے تغیرات کی گنجائش نہیں ہوتی۔ ہم نے اپنے صنعتی ویفر ڈرائنگ سسٹم کے ہیٹر کو اسی حقیقت کے مطابق ڈیزائن کیا ہے، تاکہ بعد میں اس مسئلے سے نمٹنے کی ضرورت نہ پڑے۔
کون سے عوامل اہم ہیں؟
ہیٹر، شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر پر مبنی ہے، جو تیزی سے ردِعمل دیتے ہیں۔ اس طرح، ویفروں کے درجہ حرارت میں ±0.1 ڈگری سیلسیس کے اندر ہی رہتا ہے، تاکہ فوٹو ریزسٹ کی خصوصیات میں کوئی تغیر نہ آئے۔ یہ سسٹم کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین رومز کے لئے مناسب ہے؛ اس میں کم گیس خارج کرنے والے مواد استعمال کئے گئے ہیں، اور سطح کی ساخت ایسی ہے کہ اس سے کوئی ذرات خارج نہ ہوں۔ مناسب طریقے سے نصب کیے گئے اس سسٹم کو بغیر کسی رکاوٹ کے 24 گھنٹے چلایا جا سکتا ہے، اور درجہ حرارت میں ہزاروں چکروں کے بعد بھی استحکام برقرار رہتا ہے۔
عملی طور پر یہ کیسے کام کرتا ہے؟
ویفر ڈرائنگ اور فوٹو ریزسٹ بیکنگ کے عمل میں درجہ حرارت کو کنٹرول کرنا بہت اہم ہے۔ یہ ہیٹر، مطلوبہ رفتار سے کام کرتا ہے، اس لئے چکروں کا وقت کم ہو جاتا ہے، جبکہ فلم کی موٹائی یا CD کنٹرول میں کوئی خطرہ نہیں رہتا۔ انفراریڈ تکنالوجی کی وجہ سے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے۔ کم سروس کی ضرورت کی وجہ سے زیادہ سپیئر پارٹس کی ضرورت نہیں پڑتی۔ لائن انجینئروں کے لئے اس کا مطلب یہ ہے کہ پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے، SPC کے نتائج بہتر ہوتے ہیں، اور سسٹم سیمی کنڈکٹر آلات کی توقعات کے مطابق کام کرتا ہے، بغیر کسی تبدیلی کے۔
نصب کرتے وقت کن باتوں پر توجہ دینی چاہیے؟
چیمبر کی ساخت اور ہوا کے بہاؤ کو مناسب رکھنا ضروری ہے۔ ہم تفصیلی ڈرائنگز، ماؤنٹنگ ہارڈویئر اور کیلیبریشن پروفائل فراہم کرتے ہیں، لیکن پہلے استعمال سے پہلے آلے کے انٹرفیس کی جانچ ضرور کریں۔ اخراج کے راستے کو صاف رکھیں، تاکہ ہوا دوبارہ چیمبر میں نہ آئے، اور ماحولیاتی حالات کو مطلوبہ درجہ حرارت اور ذرات کی مقدار کے اندر رکھیں۔ پہلے ایک مختصر ٹیسٹ کریں، تاکہ سسٹم ٹھیک طرح کام کرے، اس کے بعد آپ اسے بھروسے کے ساتھ استعمال کر سکتے ہیں۔