晶圆干燥：红外加热与对流加热的比较

在300毫米生产线中，计划外的停机时间以及颗粒物问题是亟需解决的难题。多年来，对流式烤箱一直被用于晶圆的干燥和烘烤工序，但它们的升温速度较慢，且容易产生温度波动。此外，气流还可能带来颗粒物，从而导致产品性能不符合标准。当工艺流程需要以秒和度来衡量时，红外线技术则能提供更高效、精准且干净的加热方式。...