工厂干燥系统的能源审计

只要在生产线上工作足够长的时间，就能学会留意那些看似微不足道的细节。例如，单片晶圆的干燥过程所消耗的能源，可能远远超过表格中所显示的数值；此外，温度变化也会悄悄损害光刻胶的性能。我们经常看到这样的现象：软化处理和硬化处理的参数会发生变化，溶剂去除效果也不稳定，而且每进行一次循环，颗粒数就会增加。其...