用于晶圆的精密红外传感器
别让一个坏掉的灯毁掉整批产品 在大量生产的工厂里,一个灯管损坏可不是小问题,那简直就是一场灾难。当石英灯管破裂时,你不仅失去了热源,还有玻璃碎片和卤素气体飞溅到晶圆上。一旦发生这种情况,整批产品都报废了。这无疑是一种令人痛心的损失。
我们设计的红外灯就是为了避免这种情况的发生。
防止碎片飞溅
我们...
晶圆加工设备用温度传感器
为何我们选择红外固化技术来处理无铅半导体
如今,设计用于处理晶圆的设备确实是个难题。随着各种新的无铅及环保要求的出现,晶圆的干燥和固化过程面临着巨大压力。大多数人仍然使用传统的对流式烤箱,但这类烤箱其实只是用来加热整个房间的巨大加热器而已。这不仅浪费能源,还可能意外污染晶圆表面。
因此,我们选择了...
晶圆固化灯用反射器
阻止玻璃碎片飞溅:为何反射器的设计至关重要
在高负荷的晶圆固化过程中,如果灯泡爆裂,那可不仅仅是麻烦事或意外停机的问题——那简直就是一场灾难。当石英管破裂时,玻璃碎片和卤素沉积物会直接落在硅晶圆上。一旦发生这种情况,整批晶圆就会报废。因此,我们不会把反射器当作普通的镜子来使用,而是将其视为一种保护...
晶圆加热的安全距离
让我们来聊聊晶圆的红外固化技术吧。
我们已经不再使用那种传统的对流式烘箱,而是转而采用红外固化技术。为什么呢?因为在现代工厂中,“绿色制造”和“无铅化”标准已经不再是建议,而是必须遵守的规则。
最大的区别在于热量的传递方式。传统烘箱需要先加热整个充满空气的腔室,而红外固化技术则直接将热量传递到晶圆...
MEMS传感器芯片干燥加热器
引言 让我们来聊聊,当MEMS传感器晶圆干燥生产线全负荷运转时会发生什么。此时,系统会处于极限状态,热量也会达到极值。最糟糕的情况是:红外灯爆炸了。它不仅会失效,还会爆裂成碎片,这些碎片会溅到原本完好的晶圆上。这无疑会造成巨大的损失。
我们设计的红外加热器就是为了避免这种糟糕的情况发生。它能够提供...
工业晶圆干燥系统加热器
在晶圆制造过程中,如果干燥室内的温度偏差超过1°C,那么整批晶圆都将报废。晶圆从洁净室中出来时仍带有微量水分,而接下来的软烘烤、硬烘烤或去除边缘杂质的步骤则不允许有任何温度偏差。因此,我们设计的工业级晶圆干燥系统加热器能够有效应对这种状况,而非事后才试图解决这个问题。
关键在于加热器的性能
该加热...
晶圆级CSP 芯片级封装 加热器
在光刻过程中,300毫米的晶圆根本来不及让烘箱达到所需的温度。低温烘烤会导致线宽发生变化,而高温烘烤则会产生杂质。此外,干燥速度过慢还会留下水渍,从而影响产品的合格率。我们设计的晶圆级CSP红外加热器正是为了解决这些问题——它能够快速、精准地提供所需的热量。
从技术层面来看,什么才是最重要的? 我...
晶圆加热的技术支持
在晶圆制造过程中,只要晶圆表面的温度出现0.5°C的波动,就足以导致光刻胶的烘烤效果不佳,进而造成成品率下降。我们设计的这个加热平台,就是为了确保每批晶圆在处理过程中的温度始终处于理想范围内。
关键参数 我们能够保持晶圆表面Temperature的稳定性在±0.1°C范围内,而设定点的重复性也保持...
晶圆干燥:红外加热与对流加热的比较
在300毫米生产线中,计划外的停机时间以及颗粒物问题是亟需解决的难题。多年来,对流式烤箱一直被用于晶圆的干燥和烘烤工序,但它们的升温速度较慢,且容易产生温度波动。此外,气流还可能带来颗粒物,从而导致产品性能不符合标准。当工艺流程需要以秒和度来衡量时,红外线技术则能提供更高效、精准且干净的加热方式。...
光伏硅片加热器
在晶圆厂车间,情况就是这样:光刻胶烘烤温度漂移0.5°C,关键尺寸就会偏差——下一步,你会产生大量报废。我们设计了这款光伏硅晶圆加热器,以确保热行为始终保持在光刻窗口范围内,班班如此。
核心技术参数
它采用短波红外元件驱动,响应快速且直接。整个活跃区域内,晶圆级均匀性达到±0.1°C,设定点重复性...