光伏硅片加热器

在晶圆厂车间，情况就是这样：光刻胶烘烤温度漂移0.5°C，关键尺寸就会偏差——下一步，你会产生大量报废。我们设计了这款光伏硅晶圆加热器，以确保热行为始终保持在光刻窗口范围内，班班如此。 核心技术参数 它采用短波红外元件驱动，响应快速且直接。整个活跃区域内，晶圆级均匀性达到±0.1°C，设定点重复性...