标签为“特氟龙”的页面如下 用于半导体加热器的特氟龙导线 保持洁净环境:100级洁净室中的加热方案 在半导体制造工厂中,哪怕只有一粒微小的灰尘,都可能对晶圆造成致命伤害。如果在100级洁净环境中需要加热,就不能简单地使用普通的加热元件,因为那样做只会让情况变得更糟。必须使用不会产生烟雾或杂质的加热装置。 因此,我们选择使用高纯度石英制成的红外灯,以及涂有... Read more...
用于半导体加热器的特氟龙导线 保持洁净环境:100级洁净室中的加热方案 在半导体制造工厂中,哪怕只有一粒微小的灰尘,都可能对晶圆造成致命伤害。如果在100级洁净环境中需要加热,就不能简单地使用普通的加热元件,因为那样做只会让情况变得更糟。必须使用不会产生烟雾或杂质的加热装置。 因此,我们选择使用高纯度石英制成的红外灯,以及涂有... Read more...