MEMS传感器芯片干燥加热器

引言 让我们来聊聊，当MEMS传感器晶圆干燥生产线全负荷运转时会发生什么。此时，系统会处于极限状态，热量也会达到极值。最糟糕的情况是：红外灯爆炸了。它不仅会失效，还会爆裂成碎片，这些碎片会溅到原本完好的晶圆上。这无疑会造成巨大的损失。 我们设计的红外加热器就是为了避免这种糟糕的情况发生。它能够提供...