带金色反射器的红外线灯泡
为何我们使用金制反射器进行红外加热
在智能制造工厂中,加热并不仅仅是增加功率那么简单。关键在于热量究竟会被引导到何处。如果只是单纯地释放能量,那纯粹是在浪费资金。因此,我们会将红外线灯泡与金制反射器一起使用。这样就能确保热量准确地传递到需要加热的部件上,而不会散失到其他地方。
金制反射器与铝制反射...
Ruby红外线加热灯 230伏特
在光刻工艺中,光阻软烘烤过程中的2°C温度偏差已经超出了可接受的容忍范围——这会导致产品良率下降。一旦温度控制不稳定,晶圆就会堆积起来,生产进度也会受到影响,同时颗粒数量也会增加。为此,我们设计了Ruby红外线加热灯(230伏特),以确保温度始终处于工艺要求的范围内,从而实现稳定生产。
从技术层面...
近红外 NIR 发射灯泡
在光刻车间,温漂是无法容忍的。光刻胶烘烤过程中温度仅偏移0.3℃,就足以报废一整批300 mm晶圆。热量必须精准地落在工艺卡要求的位置——每班次,每批次,始终如一。
核心关键点
我们采用近红外(NIR)发射灯泡,通过结合严格控制的光谱输出与精确设计的反射器几何形状,实现亚毫米级的均匀性。热场映射能...