在光刻工艺中，光阻软烘烤过程中的2°C温度偏差已经超出了可接受的容忍范围——这会导致产品良率下降。一旦温度控制不稳定，晶圆就会堆积起来，生产进度也会受到影响，同时颗粒数量也会增加。为此，我们设计了Ruby红外线加热灯（230伏特），以确保温度始终处于工艺要求的范围内，从而实现稳定生产。
从技术层面来看，重要的是： Ruby红外线加热灯能够发出短波红外光，响应速度快，光谱控制精确。其额定电压为230伏特，可以直接接入标准设备电路，无需重新布线或使用降压变压器。在处理区域内，晶圆表面的温度均匀性可保持在±0.1°C以内，而不同批次之间的重复性则可控制在±0.5°C以内。石英外壳以及特殊的掺杂结构有助于减少气体释放，从而降低颗粒产生的可能性——因此，该设备适用于1级到100级的洁净室环境。实际上，这类设备已经连续运行了5,000小时以上，其输出功率下降幅度还不到5%。此外，其灯丝结构设计合理，能够确保在反复加热过程中电阻值保持稳定。
为什么它能在生产环境中保持稳定性能？ 在光阻处理过程中，软烘烤阶段是为了让溶剂蒸发并消除薄膜中的应力；而硬烘烤阶段则是为了在蚀刻之前固定图案的形状。Ruby红外线加热灯能够稳定这两个阶段，快速达到设定温度，同时还能避免出现局部过热现象。这样一来，就能更好地控制光刻精度，减少返工次数，同时确保各批次产品的线宽一致性。由于热量是按需提供的，而非通过大型加热板来散发热量，因此设备的能耗更低，进而降低了每片晶圆的制造成本，也减少了非计划性的停机时间。
使用注意事项： 虽然该设备的安装相当简单，但精确对齐非常重要。必须将加热灯安装在距离焦点规定距离±1毫米以内的位置；否则，温度均匀性就会受到影响，还会出现局部过热现象。此外，还需要定期检查反射器的状况，并在常规维护时清洁插座。虽然降低电压可以延长设备的使用寿命，但这会增加设备的预热时间，还会影响烘烤过程的稳定性。因此，应始终按照规定的电压来使用该设备。