让我们来聊聊晶圆的红外固化技术吧。
我们已经不再使用那种传统的对流式烘箱，而是转而采用红外固化技术。为什么呢？因为在现代工厂中，“绿色制造”和“无铅化”标准已经不再是建议，而是必须遵守的规则。
最大的区别在于热量的传递方式。传统烘箱需要先加热整个充满空气的腔室，而红外固化技术则直接将热量传递到晶圆的表面。这其实涉及到物理学原理——就像在寒冷的日子里，太阳光会直接照射到皮肤上，无需等待周围的空气变暖即可感受到热量。红外固化技术利用电磁辐射直接从灯泡传递到晶圆上，没有中间介质，也不会浪费能量去加热大量的氮气。
其升温速度极快，只需几秒钟而已。这才是真正的节能之处。
实现“绿色化”目标
无铅焊料的使用需要格外小心。虽然它能够承受较高的温度，但如果温度控制不当，就会损坏晶圆基底。而通过红外固化技术，我们可以调整波长，让晶圆材料能够吸收适当的热量。此外，这种技术也更环保——因为没有燃气加热，所以不会产生VOC或碳排放物。这对于洁净室来说真是理想的选择：没有燃烧过程，没有烟雾，也没有污染问题。
棘手的问题：距离问题
工程师们通常会在灯泡与晶圆之间的距离上遇到难题。如果距离太近，就容易产生热点，甚至导致光刻胶熔化。而如果距离太远，生产效率就会下降，还会浪费时间。我们通常会根据灯泡的功率以及晶圆的热容量来调整这个距离。
最后一点需要注意的是：高强度的红外光会对冷却系统造成很大压力。如果试图通过提高功率来加快固化速度，那么冷却系统就必须足够强大，才能将热量从晶圆表面带走。否则，晶圆就会变形。显然，这是没人希望看到的情况。