涂层显影用红外加热器

在光刻生产线上，根本无法避免温度波动的问题。哪怕是微小的温度偏差，也会导致晶圆上的尺寸误差。涂覆和显影过程不会因为烤箱需要达到设定温度而暂停——整个流程会持续进行。如果加热器无法稳定地保持设定温度，那么光阻的分布就会发生变化，从而导致缺陷率上升。 我们所设计的解决方案及其重要性 我们采用了基于短波...