半导体洁净室推车式加热器

为何在洁净室中使用红外线加热器 在半导体制造厂里，“清洁”并非只是一个目标，而是最重要的要求。哪怕有极微量的杂质存在，都可能毁掉整批产品。 大多数人认为加热就是让热空气在空间中流动（对流式加热）。但在洁净室里，这种做法会引发麻烦——它会让灰尘和颗粒物飞散，因此需要昂贵的过滤系统来净化被加热的空气。...