
为何在洁净室中使用红外线加热器
在半导体制造厂里,“清洁”并非只是一个目标,而是最重要的要求。哪怕有极微量的杂质存在,都可能毁掉整批产品。
大多数人认为加热就是让热空气在空间中流动(对流式加热)。但在洁净室里,这种做法会引发麻烦——它会让灰尘和颗粒物飞散,因此需要昂贵的过滤系统来净化被加热的空气。
这就是为什么我们选择使用红外线加热方式。它不需要借助空气,而是依靠电磁辐射来传递能量。没有风,没有灰尘,也不会产生任何干扰。
如何实现无铅焊接的理想效果
无铅焊接对温度控制要求极高。一旦温度出现轻微偏差,就可能导致敏感的晶圆受损。
红外线加热的优点在于,我们可以精确调整波长,使其与基材的吸收特性相匹配。这样一来,就无需浪费能源去加热整个房间或金属载具本身,而是直接对工件进行加热。
由于省去了中间环节,该系统能在几秒内达到目标温度。速度非常快。
充分利用有限的空间
在半导体工厂中,空间是非常宝贵的资源。
由于红外线灯不需要复杂的管道或强大的鼓风机,因此这类加热器可以占据更小的空间。我们还会使用石英外壳以及特殊的涂层,确保在加热过程中不会产生任何有害气体。这样就能维持ISO标准,同时又不占用过多空间。
需要解决的难题及解决方案
不过,这并非完美无缺的技术。高强度的红外线虽然效率高,但也可能带来一些问题。
如果零件的厚度不同,那么边缘部分会变得过热,而中心部分则仍然很冷。如果传感器或PID控制器的反应速度不够快,就会导致基材变形。这显然不是理想的结果。
为了解决这个问题,我们建议采用多区域控制方式。这样可以确保整个载具上的温度均匀分布,从而使焊接过程保持在最佳状态,从而提升半导体的可靠性。