Senzor teploty pro nástroj na wafery
Proč přecházíme na zasychání pomocí infračerveného záření u bezolovnatých polovodičů Návrh zařízení určených k zpracování desek je v dnešní době...
Ohřívač inspekčního přístroje polovodičů
Na výrobní lince to znáte: odchylka 0,5 °C ve fázi inspekce posune profil fotorezistu, změní CD bias a najednou máte šarži, kterou je třeba předělat....