دیگر دیوارههای تجهیزات شما را گرم نکنید!
اگر تا به حال در کارخانههای تولید تجهیزات نیمههادی کار کردهاید، میدانید که گرمای بیکنترل چقدر مشکلساز است. این موضوع میتواند خطرناک باشد. اکثر عناصر گرمایشی معمولی، انرژی را در همه جهات پخش میکنند.
مشکل اینجاست که وقتی این عناصر را در یک بدنه محدود قرار میدهیم، دیوارههای داخلی آن بدنه، تمام انرژی اضافی را جذب میکنند. در نتیجه، دیوارهها بسیار گرم میشوند؛ این امر میتواند باعث آسیب به اپراتور یا حتی اختلال در فرآیند تولید ویفرها شود. این موضوع بسیار آزاردهنده و ناکارآمد است.
چگونه ما این مشکل را حل میکنیم؟
ما از لامپهای مادون قرمز با طول موج کوتاه، همراه با بدنههای ساخته شده از فولاد ضدزنگ، برای حل این مشکل استفاده میکنیم.
به جای اینکه گرما وارد بدنه دستگاه شود، از اشکال بازتابنده برای هدایت انرژی مادون قرمز به جای مناسب استفاده میکنیم. میتوانید آن را مانند پرتو نور یک فلاش در نظر بگیرید.
بدنه، نقش سپر را ایفا میکند؛ ما از فولاد ضدزنگ با کیفیت خاصی استفاده کرده و سطح داخلی آن را تا حد آینه صیقل میدهیم. این کار باعث میشود تا تشعشعات به سمت جلو هدایت شوند و سطح خارجی دستگاه سرد بماند، در حالی که ناحیه مورد نظر بسیار گرم میشود.
راز پشت ساخت این تجهیزات
ما از فولاد ضدزنگ استفاده میکنیم، زیرا این فلز میتواند در برابر شرایط دشوار مقاومت کند. چرخههای حرارتی بسیار سخت هستند، و آلیاژهای ارزانقیمت، تغییر شکل میدهند یا اکسید میشوند. وقتی که این آلیاژها دیگر قابلیت بازتاب نور را از دست میدهند، کارایی دستگاه کاهش مییابد.
راز واقعی در نقطه تمرکز تشعشعات است؛ اگر بدنه حتی کمی از مرکز خارج شود، نقاط گرم روی دیوارههای داخلی ایجاد میشود. به همین دلیل، ما این بدنهها را با دقت بسیار بالایی ساخته میکنیم.
حالا، برخی افراد میپرسند چرا از آلومینیوم استفاده نمیکنیم؛ در واقع، فولاد ضدزنگ دارای ضریب هدایت حرارتی پایینتری است؛ این موضوع در واقع یک مزیت است. این موضوع مانع از این میشود که بدنه به یک منبع گرمایی تبدیل شود و سایر قسمتهای دستگاه را گرم کند.
در محیط کار
وقتی که این تجهیزات را به برق متصل کنید، بلافاصله تفاوت را احساس خواهید کرد. گرمای شدیدی در ناحیه کاری ایجاد میشود، اما بدنه دستگاه همچنان قابل لمس است. تنها نکته مهم این است که مطمئن شوید که سیستم تهویه شما بتواند این گرمای شدید را کنترل کند؛ در غیر این صورت، ممکن است سطح کاری شما آسیب ببیند.