چگونه از لامپهای فابریک شما با استفاده از سپرهای کوارتزی، بیشترین بهره را ببرید؟
اگر در یک فابریک نیمههادی فعالیت میکنید، لامپهای گرمایشی مبتنی بر اشعه مادون قرمز، نقش کلیدی در فرآیندهای گرم کردن و تخصیص حرارت دارند. اما مسئله اینجاست که اگر قصد دارید به اهداف بیتأثیر کردن انتشار گازهای گلخانهای دست یابید، نمیتوانید فقط لامپها را تعویض کنید و کار تمام شود. باید کل سیستم گرمایشی را در نظر بگیرید.
در اینجاست که سپرهای شیشهای کوارتزی با خلوص بالا میتوانند کمک کنند. آنها نه تنها عناصر گرمایشی را محافظت میکنند، بلکه نحوه انتقال حرارت را نیز کنترل میکنند.
جلوگیری از هدررفت انرژی
میتوانید سپر کوارتزی را مانند یک مانع هوشمند در نظر بگیرید؛ این سپر بین رشتههای هالوژنی و سایر اجزای فابریک قرار میگیرد. به دلیل خلوص بالای آن، اشعه مادون قرمز کوتاهموج میتواند بدون جذب شدن توسط شیشه، از طریق سپر عبور کند. این امر باعث میشود حرارت بیشتری به ویفر برسد و کمتری به بدنه تجهیزات منتقل شود. وقتی که تجهیزات شما دیگر به یک دستگاه گرمایشی بزرگ تبدیل نمیشوند، دستگاههای خنککننده نیاز کمتری به کار کردن خواهند داشت. هزینه برق شما نیز کاهش خواهد یافت.
خطرات استفاده از مواد ارزانقیمت
ما از سیلیکا با خلوص پایین برای ساخت سپرها استفاده نمیکنیم؛ زیرا در یک اتاق تمیز، حتی کمترین مقدار گاز یا ذرات ناخواسته میتواند باعث اختلال در فرآیندهای تولید شود. این موضوع واقعاً یک کابوس است.
علاوه بر این، این سپرها باید بتوانند در برابر تغییرات ناگهانی دما مقاومت کنند؛ در غیر این صورت ممکن است ترک بخورند. اگر سپر کدر شود یا از کار بیفتد، توزیع حرارت مختل خواهد شد. احتمالاً سعی خواهید کرد تا توان لامپها را افزایش دهید تا این مشکل را جبران کنید، اما این کار فقط باعث میشود رشتههای لامپها سریعتر خراب شوند. در نتیجه، هدررفت انرژی بیشتری خواهد داشت.
یافتن تعادل مناسب
یافتن تعادل مناسب کمی دشوار است. انتقال بهتر حرارت، باعث افزایش تراکم حرارتی میشود؛ اما اشعه مادون قرمز با شدت بالا میتواند باعث اختلالاتی در سطح ویفر شود. همچنین، ضخامت سپر نیز مهم است؛ سپرهای ضخیمتر میتوانند در برابر فشارهای ناشی از نصب مقاومت کنند، اما اجازه میدهند مقدار کمتری از اشعه مادون قرمز از آنها عبور کند. شما باید ضخامت مناسبی را انتخاب کنید که با ظرفیت تولید شما و فراوانی تمیز کردن سیستم شما سازگار باشد.