悪いランプが原因で、生産された製品全体がダメになるのを防ぎましょう。
大量生産の現場では、1つのランプが故障するだけでも大変ですが、それはまさに悪夢です。
石英製のケースが壊れると、熱源を失うだけでなく、破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。一度壊れると、生産した製品全てが廃棄処分になってしまいます。これは本当に痛手です。
私たちは、そのような事態を防ぐためにIRランプを設計しています。
破片を内部に閉じ込める
私たちは、急速な加熱や冷却に耐えられる高純度の合成石英を使用しています。しかし、それだけではありません。
私たちのランプには保護シールドが付いており、これによって破片が外部に飛び散るのを防ぎます。そうすれば、作業エリアが汚染されることもありません。ランプが壊れても対処できますが、ウェーハに破片が付着するのは避けられません。
高温に対処する
高出力のランプは非常に高温になります。冷却用の空気の流れが適切でなければ、ランプの端部が過熱し、シールが壊れてしまいます。
この問題を解決するために、私たちは強化された電極や最適化されたガスを使用しています。これにより、破壊点が上がり、フル稼働時でも十分な安全余裕が得られます。
正直な妥協点
ただし、どんな保護シールドも完全ではありません。追加の保護層を加えると、IR光が少し遮られてしまいます。そのため、目標の温度に到達するためには、出力を上げたり、ウェーハを数秒間さらに加熱したりする必要があります。
しかし、これは小さな代償に過ぎません。わずかなエネルギー効率の低下を払ってでも、破片のせいで5万ドルもするウェーハがダメになる心配から解放されるのです。
これらのランプは、24時間365日の連続生産に対応するように作られています。精度の高いコントローラーを使えば、電圧の急変を防ぎ、何も心配することなく作業を続けることができます。