太陽光発電用シリコンウェハーヒーター

ファブフロアではご存知の通りです。フォトレジストのベーク温度が0.5℃ずれると、クリティカル寸法がずれてしまい、多くのウェハを廃棄することになります。当社は、このフォトボルタイクシリコンウェハヒーターを開発し、シフトごとにリソグラフィウィンドウ内の熱挙動を安定させています。 内部の重要ポイント 短...