半導体ヒーター用テフロン線

清潔さを保つために：クラス100のクリーンルームでの加熱方式 半導体製造工場では、ほんの微細なほこりでも大問題です。それはウェハーにとって致命的な影響を与えます。クラス100の環境で加熱が必要な場合、普通の発熱体を使っても意味がありません。ガスや粒子が漏れ出さないような装置が必要です。 そのため、...