Op de productielijn is een temperatuurverschil van minder dan 1°C in de droogkamer al voldoende om een hele partij producten te verwerpen. De wafers komen uit de zuiveringsruimte nog steeds met wat vocht erin. De volgende stappen – zacht bakken, hard bakken of het verwijderen van oneffenheden aan de randen van de wafers – vereisen dat er geen temperatuursverschillen optreden. Onze industriële warmtekachels voor het drogen van wafers zijn zo ontworpen dat ze met deze omstandigheden kunnen omgaan, in plaats van ernaar te proberen te vechten.
Wat belangrijk is bij de implementatie De warmtekachel maakt gebruik van kortegolflengte-infraroodelementen die snel reageren en een constante temperatuur behouden. Hierdoor blijft de temperatuur op het niveau van de wafers binnen ±0,1°C. Hierdoor verschillen de fotorezistprofielen niet per partij producten. De constructie is geschikt voor gebruik in zuiveringsruimtes van klasse 1 tot klasse 100. Er worden materialen gebruikt die weinig gas afgeven, en het oppervlak is zo vormgegeven dat er geen deeltjes vrijkomen. In goed geïmplementeerde systemen werken deze apparaten continu, zonder onverwachte stilstand. De temperatuurrepetitibiliteit blijft ook na duizenden cycli behouden.
Waarom dit in de praktijk werkt Het thermische budget bij het drogen van wafers en het bakken van fotorezist is beperkt. Deze warmtekachel bereikt de benodigde temperatuurstijgingen zonder dat de temperatuur te hoog wordt. Hierdoor kan de cyclusduur worden verkort, zonder dat er risico’s optreden voor de dikte van het filmlaagje of voor de precisie van de meting. Het gebruik van infraroodstraaling zorgt voor een efficiënte energiebeheersing. Minder onderhoud betekent ook minder reserveonderdelen nodig. Voor engineers betekent dit een hogere opbrengst, betere controle over de kwaliteit van het product en een systeem dat voldoet aan de eisen van halfgeleiderapparatuur, zonder dat er extra aanpassingen nodig zijn.
Wat er moet worden gecontroleerd tijdens de installatie Het is belangrijk dat de geometrie van de kamer en de luchtcirculatie goed worden afgestemd. Wij leveren dimensionele tekeningen, montageonderdelen en kalibratierapporten. Controleer echter eerst de interface van het apparaat voordat u het voor het eerst gebruikt. Zorg ervoor dat de afvoerweg vrij is om hercirculatie van lucht te voorkomen. Houd ook de omgevingscondities binnen de voorgeschreven grenzen wat betreft vochtigheid en deeltjes. Voer eerst een kort testproces uit om de instellingen te verifiëren. Daarna kunt u er zeker van zijn dat het apparaat correct werkt.