Zabezpieczanie przed niebezpieczeństwem podczas używania grzewczych lamp IR w obecności lotnych chemikaliów
Podczas czyszczenia półprzewodników metodą mokrą, lampy grzewcze IR są często umieszczane bezpośrednio w komorach wypełnionych łatwopalnymi lub wybuchowymi parami. To naprawdę niepokojąca sytuacja – jeden mały iskra lub błąd w izolacji może doprowadzić do katastrofy.
Dlatego nie bierzemy pod uwagę tylko mocy lampy. Skupiamy się przede wszystkim na jej izolacji. Sekret tkwi w szczelności. Używamy dwuwarstwowego systemu uszczelniania, aby elektrody były całkowicie oddzielone od chemikaliów. Największym problemem jest miejsce, gdzie przewody zasilające wprowadzają się do kwarcowej obudowy lampy. Aby to rozwiązać, używamy hermetycznych uszczelnień ze szkła i metalu oraz specjalnych środków uszczelniających, które mogą wytrzymać wysokie temperatury bez reakcji z chemikaliami.
To dosyć proste: jeśli te korozyjne pary dostaną się do układu elektrycznego, dochodzi do zwarcia. Koniec historii. Nasze uszczelnienia utrzymują gaz halogenowy wewnątrz lampy, a szkodliwe chemikalia na zewnątrz.
Walka z wpływem chemicznym
Jeśli materiały nie są w stanie przetrwać takich warunków, szybko ulegną degradacji. Używamy kwarcu o wysokiej czystości oraz specjalnych powłok, aby lampy nie „zamglały się” ani nie zostały uszkodzone przez środki czyszczące. Problem polega na tym, że gdy powierzchnia kwarcu zaczyna się matowieć, ciepło nie jest rozkładane równomiernie. W efekcie na waferze powstają gorące punkty, co jest ostatnią rzeczą, jakiej chcemy uniknąć. Wybieramy więc powłoki, które zapewniają stały i równomierny przepływ ciepła po całej powierzchni podłoża.
Kompromisy (bo nic nie jest darmowe)
Te środki bezpieczeństwa sprawiają, że lampy stają się nieco większe. Izolacja dodaje odrobinę długości całości urządzenia, więc być może trzeba będzie dostosować odległość między elementami montażowymi, aby lampy mieściły się w ustalonym miejscu. Ponadto te ochronne powłoki hamują nieco moc promieniowania IR w porównaniu z zwykłą lampą. Prawdopodobnie trzeba będzie zwiększyć moc lampy lub dłużej je eksploatować, aby osiągnąć żądaną temperaturę.
I jeszcze jedna rzecz – upewnij się, że używasz odpornych na wybuch przewodów. To właśnie zapewnia pełne bezpieczeństwo.