Udržování čistoty: Vytápění v prostorách třídy 100
V továrnách na výrobu polovodičů není jediný zrnko prachu jen otravou – je to smrtící hrozba pro vaše destičky. Pokud potřebujete teplotu v prostoru třídy 100, nemůžete prostě použít běžný ohřívací prvek a doufat v to nejlepší. Potřebujete zařízení, které neuvolňuje žádné částice ani kouř.
Proto používáme IR lampy z vysoce čistého křemene a kabely s izolací z teflonu. Je to jediný způsob, jak zabránit uvolňování plynů a částic, které by mohly poškodit vaši výrobku.
Výhody vysoce čistého křemene
Pro tyto lampy používáme syntetický křemen z jednoduchého důvodu: nereakcí při změnách teploty. Běžné sklo? Nakonec se rozbije nebo začne uvolňovat částice křemíku. To rozhodně není dobré.
Tyto IR lampy využívají krátkovlnné záření k přímému ohřevu cílového materiálu. Protože teplo putuje přímo tam, kam potřebuje, nemusíte zahřívat okolní vzduch. To znamená méně kontaminantů ve vzduchu v oblasti výroby. Je to čistší a jednodušší.
Proč trváme na teflonu (PTFE)
Běžné PVC nebo silikonové izolace jsou v prostorách třídy 100 noční můrou. Jakmile se nahřejí, začnou uvolňovat škodlivé plyny. To rozhodně nemůžeme dovolit.
Používáme kabely s izolací z teflonu, protože PTFE je v podstatě inertní. Nezkazí se ani „nekouří“, i když se situace zhorší. Zůstává stabilní. To zabraňuje ulpívání uhlíkových usazenin a chemických par ve vašem vakuumovém nebo sterilním prostoru.
Jak to celé funguje
Snažíme se udržet tyto systémy co nejkompaktnější, aby zdroj tepla zůstal blízko substrátu. Ale je tu problém: vysokohustotní IR ohřev vytváří intenzivní lokální body tepla.
Musíte správně nastavit systémy chlazení. Pokud je chladič příliš malý na kapacitu lampy, teplo se dostane přímo do kostry zařízení. V takovém případě se zkreslí precizní zarovnání a budete muset strávit víkendem kalibrací všeho.
Jedna poslední rada: používejte spojky pozlacené nebo z vysoce kvalitního niklu. To zabrání oxidaci v místech kontaktu. Žádné „arc-tracking“, žádná překvapení – jen čisté elektrické spojení, které vydrží tisíce hodin.