در فرآیند لیتوگرافی، ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری فرصتی برای اینکه فر زمان کافی برای گرم کردن آنها داشته باشد، ندارند. تغییرات ناشی از گرمایش نامناسب، منجر به تغییرات در عرض خطوط روی سطح ویفر میشود؛ همچنین، خشک شدن آهسته نیز باعث ایجاد ردپاهای آبی روی سطح ویفر میشود که به کاهش کیفیت ویفر منجر میگردد. ما گرمکن مادون قرمز CSP را دقیقاً برای چنین شرایطی طراحی کردهایم؛ یعنی گرمایش سریع و کنترلشده در همان جا که فرآیند نیاز دارد.
از نظر فنی، چه چیزی اهمیت دارد؟ ما از موجهای کوتاه مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این موجها بازخورد سریعی دارند و کنترل طیفی دقیقی نیز ارائه میدهند. به این ترتیب، انرژی درون فوتورزیست و ویفر تخصیص مییابد، نه در دستگاههای مربوطه. در سراسر سطح ویفر، یکنواختی دمایی در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد حاصل میشود؛ همچنین، الگوهای گرمایشی نیز در هر بار اجرای فرآیند تکرار میشوند.
این دستگاه برای استفاده در اتاقهای پاک با کلاس ۱ تا ۱۰۰ طراحی شده است؛ موادی با میزان گازهای خروجی پایین، پنجرههای کوارتزی بسته، و مسیر جریان هوایی که از ورود ذرات به داخل دستگاه جلوگیری میکند. ایجاد هیچ ذرهای در حین عملکرد دستگاه، از طریق نظارت در حین اجرای فرآیند، تأیید میشود. این دستگاه ۲۴/۷ کار میکند و زمانهای تعمیراتی نیز قابل برنامهریزی هستند؛ بنابراین هیچ توقف غیرمنتظرهای وجود ندارد.
چرا این دستگاه برای این کار مناسب است؟ برای خشک کردن ویفر، این دستگاه آب روی سطح ویفر را بدون ایجاد شوک حرارتی از بین میبرد؛ بنابراین زمان انجام فرآیند کاهش مییابد و میزان ناخالصیها نیز کم میشود. در فرآیند پردازش فوتورزیست نیز، همین کنترل، باعث میشود که گرمایش نامناسب کنترل شود و کیفیت ویفر در سراسر محصولات یکنواخت باقی بماند.
در سیستم CSP، این گرمکن به تثبیت فرآیند پخت و بستهبندی کمک میکند؛ بنابراین کنترل دما و کجی ویفر نیز به خوبی انجام میشود. شما میتوانید با سرعت بیشتری کار کنید، توزیع مواد بهتری داشته باشید، و میزان ضایعات کمتری داشته باشید؛ بدون اینکه نیاز به تنظیمات دستگاهی باشد که همیشه عقبتر از واقعیت باشد.
چه چیزهایی باید در نظر گرفته شود؟ این گرمکن به منبع تغذیه تمیز و خشک نیاز دارد؛ همچنین، سطح محل نصب آن نیز باید پایدار باشد تا هماهنگی و یکنواختی حفظ شود. این دستگاه با روشهای استاندارد فرآوری FOUP و اتصالات SEMI سازگار است؛ اما برای ادغام آن، باید تفاوتهای انتشار گرما در فیلمها و سطوح مختلف در نظر گرفته شود؛ ما ماتریسهای کالیبراسیون مربوطه را نیز فراهم میکنیم.
باید برای بررسی دورهای دستگاه و تأیید کنترل حرارتی، برنامهریزی کرد. دقت، به طور تصادفی به دست نمیآید؛ بلکه باید آن را حفظ کرد.