בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 2°C במהלך תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו נחשב לערך מקובל – זה פוגע באיכות המוצר הסופי. הוופרים נערמים, לוחות הזמנים מתעכבים, ומספר החלקיקים עולה ברגע שהשליטה בטמפרטורה נפגעת. ייצרנו את הנורה האינפרא-אדומה Ruby (230V) כדי לשמור על הטמפרטורה בטווח המותר, שעה אחר שעה.
מה חשוב מבחינה טכנית? הנורה Ruby פולטת אור אינפרא-אדום בגלים קצרים, עם תגובה מהירה ושליטה מדויקת בספקטרום האור. היא מותאמת למתח של 230V, כך שניתן להשתמש בה ללא צורך בחיבורים נוספים או בטרנספורמטורים. באזור הפעיל של הנורה, האחידות התרמית של הוופרים נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות בין המחזורים נשמרת בטווח של ±0.5°C. המעטפת הקוורץ והחומרים המשמשים לייצור הנורה מפחיתים את כמות החלקיקים שנוצרים – כך שניתן לשמור על רמת ניקיון של Class 1–100. ניתן להשתמש בנורה זו באופן רציף במשך 5,000 שעות ויותר, עם ירידה של פחות מ-5% ביעילותה. גאומטריית הפילמנט של הנורה מאפשרת עמידות לאורך מחזורי החימום השונים.
למה הנורה עומדת בדרישות הייצור? בתהליך הפוטורזיסט, תהליך החימום הרך גורם לאידוי של החומרים המרכיבים את הפוטורזיסט, ותהליך החימום הקשה מאפשר קיבוע הדפוסים לפני החיתוך. הנורה Ruby מאפשרת יציבות בשני השלבים האלו – היא מגיעה לנקודות הטמפרטורה הרצויות במהירות, ומאפשרת קירור צפוי. כתוצאה מכך, יש פחות נקודות חם, והחשיפה בקצוות הוופרים פחותה. התוצאה היא שליטה טובה יותר ברוחב הקווים, פחות צורך בעבודה חוזרת, ואיכות יציבה לאורך כל התהליך. צריכת החשמל פוחתת, מכיוון שהחום מועבר רק כשנדרש, ולא על ידי כף חימום גדולה. זה מביא לירידה בעלויות לכל וופר, ולפחות הפסקות בייצור.
הערות שטח ההתקנה של הנורה פשוטה, אך ההתמצאות המדויקת שלה במיקום הנכון היא חשובה. יש להתקין את הנורה במרחק של ±1 ממ מהמרחק הפוקלי המומלץ; אחרת, האחידות התרמית תיפגע, וייווצרו נקודות חם. יש לבדוק את מצב המחזיר בכל פעם, ולנקות את החיבורים כחלק מהתחזוקה השגרתית. שימוש במתח נמוך יותר יכול להאריך את חיי הנורה, אך הוא יאריך גם את זמן ההתחממות, ועלול לגרום לשינויים בפרופיל החימום. יש להשתמש תמיד במתח המומלץ לכל תהליך.