लिथोग्राफी प्रक्रिया में, 300 मिमी आकार के वेफरों के लिए ओवन के तापमान को सही स्तर पर लाने हेतु पर्याप्त समय नहीं होता। “सॉफ्ट बेक” प्रक्रिया के कारण लाइनों की चौड़ाई में बदलाव हो जाता है; “हार्ड बेक” प्रक्रिया के कारण वेफर पर अशुद्धियाँ उत्पन्न हो जाती हैं। धीमी गति से सूखने के कारण वेफर पर पानी के निशान रह जाते हैं, जिससे उत्पादन प्रभावित होता है। हमने ऐसी ही स्थितियों के लिए वेफर-स्तरीय सीएसपी इन्फ्रारेड हीटर विकसित किया है – ताकि आवश्यक स्थान पर तेज एवं नियंत्रित तापमान प्राप्त किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
हम तेज गति वाले इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करते हैं; ऐसे में ऊर्जा सीधे फोटोरेसिस्ट एवं वेफर पर ही पहुँचती है, न कि अन्य उपकरणों पर। सक्रिय क्षेत्र में तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर ही रहती है। इसके अलावा, प्रक्रिया के दौरान तापमान में होने वाले परिवर्तन भी नियंत्रित रहते हैं।
यह सिस्टम क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए उपयुक्त है – कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों, सील्ड क्वार्ट्ज विंडोज, एवं ऐसी हवा की व्यवस्था, जिससे कोई कण थर्मल वातावरण में न जा सके। परीक्षणों के दौरान घटकों में कोई कण उत्पन्न न होने की पुष्टि की जाती है। यह सिस्टम 24/7 काम करता है, एवं रखरखाव हेतु नियोजन भी संभव है – कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं होती।
यह क्यों उपयुक्त है?
वेफर को सूखाने हेतु, इन्फ्रारेड तकनीक के कारण सतह पर मौजूद पानी बिना किसी तापीय झटके के ही निकल जाता है; इससे प्रक्रिया का समय कम हो जाता है, एवं अशुद्धियाँ भी कम रहती हैं। फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया में भी यही नियंत्रण उपयोगी है; इससे वेफर की सतह पर एकरूपता बनी रहती है।
वेफर-स्तरीय सीएसपी में, यह हीटर स्थिर सुखाने एवं एनकैप्सुलेशन प्रक्रिया में मदद करता है; इससे तापमान नियंत्रित रहता है, एवं वेफर में विकृति भी कम रहती है। इससे उत्पादन दर बढ़ जाती है, वितरण भी बेहतर हो जाता है, एवं अपशिष्ट भी कम हो जाता है – बिना ओवन के सेटिंग्स को लगातार बदलने की आवश्यकता के।
क्या योजना बनानी आवश्यक है?
हीटर को स्वच्छ एवं सूखा विद्युत स्रोत आवश्यक है; साथ ही, स्थिर माउंटिंग प्लेन भी आवश्यक है, ताकि वेफर की स्थिति एवं एकरूपता बनी रहे। यह सिस्टम मानक FOUP हैंडलिंग एवं SEMI इंटरफेसों के साथ संगत है; लेकिन फिल्मों एवं सब्सट्रेटों के बीच उत्सर्जन अंतरों को ध्यान में रखना आवश्यक है – हम प्रत्येक रेसिपी के लिए कैलिब्रेशन मैट्रिक्स भी प्रदान करते हैं।
नियमित रूप से निरीक्षण एवं तापीय सत्यापन आवश्यक है। सटीकता तो स्वतः नहीं आती – इसे तो नियंत्रित ही रखना होता है।