청결한 환경 유지: 클래스 100 청정실용 난방 시스템
반도체 제조 공장에서는 아주 작은 먼지 한 점만으로도 웨이퍼가 파괴될 수 있습니다. 클래스 100과 같은 청정한 환경에서 난방이 필요하다면, 그냥 일반적인 난방 장치를 사용해서는 안 됩니다. 오염물질이 발생하지 않고, 연기나 누출이 없는 장비가 필요합니다.
그래서 우리는 고순도 석영 IR 램프와 테플론으로 절연된 배선을 사용합니다. 이것이야말로 가스나 입자들이 생산 과정에 영향을 주는 것을 막을 수 있는 유일한 방법입니다.
고순도 석영의 장점
우리가 이러한 램프에 합성 석영을 사용하는 이유는 간단합니다. 온도 변화에도 석영은 변질되지 않습니다. 반면, 일반 유리는 결국 깨지거나 실리카 입자가 발생합니다. 이는 좋지 않습니다.
이러한 IR 램프는 단파 복사를 이용해 목표물에 직접 열을 전달합니다. 따라서 주변 공기까지 가열할 필요가 없습니다. 그 결과, 생산 구역 내의 오염물질도 줄어듭니다. 더욱 깨끗하고 간단한 방식입니다.
왜 테플론(PTFE)을 사용하는가?
일반적인 PVC나 실리콘 커버는 청정실에서는 큰 문제가 됩니다. 열이 가해지면 VOC가 발생합니다. 이는 용납될 수 없습니다.
우리는 리드 부분에 테플론으로 코팅된 배선을 사용합니다. PTFE는 거의 변질되지 않으며, 고온에서도 연기가 나지 않습니다. 그래서 탄소 침전물이나 화학적 증기가 진공 상태나 멸균된 공간으로 들어가는 것을 막을 수 있습니다.
모든 것을 최적화하기 위해
우리는 이러한 시스템을 가능한 한 소형화하려고 노력합니다. 그래야 열원이 기판에 가까이 있을 수 있습니다. 하지만 문제는 고밀도 IR 난방 시스템에서는 국부적으로 과도한 열이 발생한다는 것입니다.
따라서 쿨링 시스템을 잘 설계해야 합니다. 만약 히트 싱크의 크기가 램프의 출력에 비해 너무 작으면, 열이 채널 내부로 스며들게 됩니다. 그러면 정밀한 정렬이 무너지고, 주말마다 모든 것을 다시 조정해야 합니다.
마지막 팁: 금 도금된 연결부나 고품질의 니켈 연결부를 사용하세요. 그러면 접촉 부위에서의 산화를 막을 수 있습니다. 아무런 문제 없이, 수천 시간 동안 안정적인 전기 연결이 유지됩니다.